研究設備
Research equipment
低温マイクロプローバー１号機
DC仕様、磁場 ～0.9 T，7K冷凍機
低温マイクロプローバー２号機
マイクロ波/DC仕様、磁場 ～0.9 T，7K冷凍機
ベクトル磁場マイクロプローバー
３次元ベクトル磁場、マイクロ波プローブ
極低温物性測定装置 PPMS１号機
９Ｔ超伝導電磁石、VSM、磁気トルク、DCAC輸送物性、熱物性等
極低温物性測定装置 PPMS２号機
１４Ｔ超伝導電磁石
極低温物性測定装置 PPMS３号機
（ヘリウム循環装置Dynacool ９Ｔ超伝導電磁石）
希釈冷凍機
Kelvinox 200μW at 100mK＋ 15T超伝導電磁石
超伝導三次元ベクトル電磁石
6 T×3 T×3 T
超伝導電磁石
（８Ｔ光学窓付き）
電子スピン共鳴装置 ESR
（9.6GHz）
広帯域マイクロ波分光システム
レーザードップラー三次元速度・変位計
フェムト秒レーザー・再生増幅＋波長変換システム
Astrella system(Vitara-T+Revolution)＋SHG+Opera Solo×2台（Ti:sapphireモードロックレーザー、再生増幅器、ＯＰＯ×２、ＳＨＧ）
超高速時間分解分光システム
光学実験装置群
（ラマン分光器、半導体レーザー、安定化ガスレーザー、分光器、PEM等各種光学機器）
マイクロ波パルス分光システム
各種電気測定装置群
（ロックインアンプ、高周波ロックインアンプ、抵抗ブリッジ、各種アンプ、各種フィルター、ソースメーター、ナノボルトメータ、エレクトロメータ、フェムトアンプメーター、インピーダンスアナライザー、ＬＣＲメータ、マルチメーター、ベクトルシンセサイザー、高速オシロ、ベクトルシンセサイザー、赤外線カメラ 、マイクロ波ネットワークアナライザ、マイクロ波スペクトルアナライザー、オシレーター、ストレージスコープ、マイクロ波実時間アナライザ、パルスシーケンサー、プログラマブルソース等各種電気測定機器）
走査電子顕微鏡・エネルギー分散型X線分光計 SEM・EDX
走査プローブ顕微鏡 SPM
（原子間力顕微鏡AFM、真空型磁気力顕微鏡 MFM）
共焦点レーザー顕微鏡
デジタル金属顕微鏡
磁気光学顕微鏡
X線回折計・薄膜二次元マッピングシステム
自動膜厚計
フーリエ変換赤外分光装置FTIR
可視・紫外分光装置 UVVis
指向性スパッタリング装置
電子線リソグラフィー装置 EBD
イオンビームミリング装置・二次イオン質量分析計 SIMS
収束イオンビーム・ＳＥＭ加工装置 FIB/SEM
(イオン顕微鏡、ＳＥＭ、マニピュレーター、コーティング)
電気炉、恒温器、スピンコーター、フォトリソマスクアライナー
超高真空多元スパッタリング装置
（ 超高真空多元スパッタ、RHEED， 電子線エバポレーター 、試料搬送ロボット）
レーザーMBE製膜装置１号機
（コンビナトリアル、差動排気RHEED、エキシマレーザー）
レーザーMBE製膜装置２号機
（コンビナトリアル、差動RHEED、エキシマレーザー）
液相エピキタシー製膜装置
複合製膜装置１号機
（電子ビーム蒸着、スパッタ、蒸着、ドライエッチング、全方位マニピュレータ）
複合製膜装置２号機
（電子ビーム蒸着、スパッタ、蒸着、ドライエッチング、基板加熱）
分子線エピタキシー(MBE)装置
全自動グローブボックス
（窒素パージ）
超音波ワイアボンダー
精密スクライバー
パターン加工装置
ダイシング装置
表面研磨装置
各種高温炉・管状炉
並列AI計算機 （DGXA100×２）
高圧プレス装置
各種工作機器
（スピンコーター、ダイアモンドカッター、ボール盤、アニール炉、封管装置、コーター）
化学実験用ドラフト
電気工作・作業スペース
ＡＬＤ装置
学生・研究員居室